スパッタリング装置

ANELVA L-250S-FH

＠15号館石川研究室

段差計

SLOAN DEKTAK3030

＠ハイテクプラザ


リアクティブイオンエッチング

SAMKO

＠66号館クリーンルーム

スピナー

KOTOWARKEN K-35951

＠66号館クリーンルーム


アニール炉

Koyo

＠15号館石川研究室

XRD

＠65号館・東北大学

コンタクトアライナー

＠66号館クリーンルーム

ナノスペック

＠66号館クリーンルーム

ダイサー

＠ハイテクプラザ