■ 平成24年度　研究生紹介


　　　　 　　　　
研究者 研究テーマ
板野　純希
(M2) 		ω−SPV法によるキャリアライフタイムの評価
萩原　寛幸
(M2) 		交流表面光電圧法による金属汚染n及びp型Siにおける
熱酸化膜電荷の研究
葛生　一馬
(M1) 		交流表面光電圧法による多結晶Si薄膜の結晶性評価
に関する研究
油座　大夢
（M1） 		交流表面光電圧法による金属汚染n及びp型Siにおける
熱酸化膜電荷の研究
笹沼　元秀

高橋　尚樹 　　　　

呉　夕

ω−SPV法によるキャリアライフタイムの評価
末永　清巳

赤石　雄基 　　　　

伊藤　誠

Fe汚染したSi表面における酸化膜成長とFeの挙動に関する
研究
菅野　貴大

佐藤　春樹

交流表面光電圧法による多結晶Si薄膜の結晶性評価
に関する研究
佐藤　大高

田中　秀明

Au汚染したSi表面における酸化膜成長とAuの挙動に関する
研究
佐藤　史幸

島　大知

微細加工プロセスの構築