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多機能表面分析装置 |
| X線光電子分光(XPS)，紫外線光電子分光(UPS)，高速電子線回折(RHEED)装置が付いています。主に物質表面の組成や膜厚などを調べることができます。 |
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走査型トンネル顕微鏡（日本電子JSTM-4610) |
| 非常に鋭い探針を導電性の試料表面に近づけ、流れるトンネル電流から試料面を撮像する装置です。原子レベルの分解能を持つ画像の取得が可能です。 |
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交流表面光電圧測定装置 |
| 故意に光照射をすることで過剰キャリアを発生させ、物質内の固定電荷の量を測定する装置です。 |
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分光エリプソメータ（溝尻光学DVA-36VW) |
| 薄膜や表面の微細構造を解析する為に偏光した光を用いる「分光エリプソメトリー」を利用した薄膜解析装置です。 |
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オージェ電子分光装置（アルバックファイAQM808) |
| 真空中で電子線を試料に照射し、放出されるオージェ電子の運動エネルギーを分析することで組成を分析する装置です。試料表面数nmレベルの組成分析が出来ます。 |
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低速電子線回折(LEED)装置 |
| 手作りの超高真空装置にLEED分析器を取り付け、現在はこの中でHigh-k薄膜の形成を行っています。 |
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酸化装置 |
| 主にウェハなどの酸化に利用する装置。非常に高濃度の酸素中で酸化処理を行います。本研究室では2機の酸化装置を保有しています。 |
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プローバ |
| 絶縁膜，誘電体薄膜の電気的特性を測定するのに使用しています。 |
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ドラフトチャンバー |
| 試料の処理(洗浄やエッチング)などはここで行います。 |
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クリーンベンチ |
| 濾過した空気を循環させることにより、無菌・無埃の状態を保つ装置です。 |
| その他の装置紹介 |
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◆スパッタ装置 手作りの小型スパッタ装置です。現在はＳｉ薄膜の形成を行っています。 ◆酸化炉 酸化装置と異なり、大気中で試料の熱処理を行う際に利用しています。現在はhigh-k薄膜形成や電解コンデンサ用キャパシタの研究に利用しており、2機を保有しています。 ◆スピンナー 2器 ◆陽極化成装置 ◆真空蒸着装置 １機 その他いろいろ |